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新型扫描探针显微镜（SPM）和扫描电子显微镜（SEM）关联成像系统简介
KOSTER / 2018-12-04

LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。

相关探针和电子显微镜™（CPEM）结合了SPM和SEM技术。 CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱，从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性。

工作原理

将样品连接到压电扫描仪。电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然是。
感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号
同时对SEM检测器和SPM探针进行采样，以便进行测量放在同一个协调系统中。在SPM尖端和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的尖端/点偏移
数百纳米。如果减去这样的尖端/点偏移，则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关性
- 可以获取CPEM图像。

CPEM技术的优点

CPEM提供多维相关成像 - 来自扫描电子显微镜的图像被扩展为3D。
使用CPEM，可以快速准确地区分SEM图像中的地形和材料对比度。
CPEM以适当的方式将两个或多个SEM信号与测量的地形相关联，例如SE，BSE，EBIC等。
CPEM可以在相同的条件下同时测量AFM和SEM试样条件，相同的测量速度等
组合的AFM和SEM扫描系统可实现精确的图像相关，消除漂移和其他不准确性。

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